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ATC系列多腔&多工藝混合系統(tǒng)

免費樣品檢驗 48小時發(fā)貨 工廠直銷
￥300萬-1000萬

產品規(guī)格：集成多種薄膜沉積方式、離子刻蝕和單腔室內分析操作或多腔室內

公司所在地：重慶

產品庫存：現(xiàn)貨及定制

可供貨地區(qū)：全國

其他說明：

可集成多種工藝； 包含：標準多腔系統(tǒng)配置、標準單腔混合工藝系統(tǒng)配置

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可集成多種工藝； 包含：標準多腔系統(tǒng)配置、標準單腔混合工藝系統(tǒng)配置收起

品牌：
AJA
型號：
ATC UHV 超高真空雙腔系統(tǒng)
用途范圍：
實現(xiàn)基片在不同工藝腔之間傳輸，不破壞真空
重慶眺...
重慶眺望科技有限公司
聯(lián)系人：眺望科技
主營業(yè)務：美國AJA磁控濺射，離子刻蝕、電子束蒸發(fā)等PVD設備，先進電鍍設備，ICP,PECVD,ALD,RIE等離子體工藝設備等，美國Film Sense多波長橢偏儀，ATL激光器以及徠卡LEICA光學顯微鏡
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